반도체 장비 안전 전문가 프로그램 국내서 첫 탄생

반도체 장비 안전 전문가 교육 과정이 국내에서 처음으로 생겼다. 독일 안전 자동화 전문 기업 필츠의 한국 법인인 필츠코리아는 오는 7월부터 'CSSE(Certified SEMI Safety Expert)' 반도체 장비 안전 전문가 교육 과정을 진행한다고 18일 밝혔다.

CSSE는 필츠가 주관하고 인증서를 발행하는 반도체 장비 안전 전문가 교육 과정이다. 국제반도체장비재료협회(SEMI) 안전 표준인 S1, S2, S3, S6, S8, S10, S14, S22 등이 포함되어 있다.

그간 반도체 기업은 장비 업체의 SEMI 표준 준수 여부만 확인했다. 법이나 규제로 강제된 것이 아니어서 가이드라인에 맞춰 장비를 만들었는지 리포트를 받아 확인했다. 다만 이 리포트는 특정 기관에서 인증을 받을 필요가 없는 자기적합성선언(DOC)이다. 장비 기업에 따라 리포트 내용이나 분량이 제각각이었다. 사고 예방이나 원인 파악이 쉽지 않았던 이유다.

CSSE는 SEMI 표준이 제대로 지켜졌는지를 체크한다. SEMI 표준에서 자세하게 언급되지 않은 단순 가이드라인을 구체적으로 명시한 것이 특징이다. 예컨대 SEMI 표준은 반도체 장비의 비상정지 버튼 위치가 '눈에 잘 보이는 곳에 마련되어야 한다'고 적혀 있다면, CSSE는 얼마나 눈에 잘 보여야 하고 위치는 물론 색상이 선정된 배경까지 파악할 수 있도록 했다. 단순 가이드라인에서 벗어나 보다 자세한 안정성 평가가 가능하다.

CSSE 교육 과정을 담당한 김의수 한국교통대학교 안전공학과 교수는 "SEMI 표준은 반도체 장비 배관이 내‧외부 응력을(물질에 가해지는 물리적인 양) 견딜 수 있어야 하며, 외부 응력 및 변형에 견고하게 고정되거나 보호되어야 한다고 적혀 있다"면서 "얼마나 응력을 버텨야 하는지나 어떻게 견고하게 고정하고 보호해야 하는지 프로세스에 대한 부분이 빠져 있다"고 말했다. CSSE가 SEMI 표준의 보완적 개념으로 활용된다는 게 골자다.

필츠코리아는 CSSE가 SEMI 표준으로 인용된 국제표준화기구(ISO), 국제전기기술위원회(IEC)의 이해를 높이고 설계 단계에서 안전 조치를 반영해 궁극적으로 비용을 절감할 수 있다고 강조했다. 우리 기업의 해외 반도체 공장이나 인텔, TSMC 등이 요구하는 SEMI 표준을 빠르게 만족시킬 수 있다는 것이다. 장비에서 반도체 기업으로 제품 개선 사항을 제시할 수 있어 상호 보완적인 관계로 발전시킬 수 있다고도 했다.

CSSE는 지난해 말부터 필츠코리아에서 자체 개발한 교육 과정이다. 올해는 7월과 12월 두 차례에 걸쳐 교육이 이뤄진다. 자격증 유효 기간은 4년이다.

디일렉=이수환 전문기자 shulee@thelec.kr